シリコン加工
非常に脆くチッピング、欠けが発生しやすいシリコン(Si)・シリコン(Si)ウエハですが、超音波スピンドルと使用する事で加工ダメージを最小限に抑える事が出来ます。石英ガラス加工と同様に穴加工、溝加工、ザグリ加工が可能です。お気軽にお問合せください。
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材質：シリコン(Si)ウエハ6インチ 加工：4-□20×深さｔ0.25±0.05ザグリ加工 4-□30×深さｔ0.3±0.05ザグリ加工 |
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材質：シリコン(Si)ウエハ6インチ 加工：ザグリ、溝、穴など 6インチSiウエハに深さ0.25mmのザグリ加工、そこから深さ0.1mm深さの溝加工やφ1貫通穴 Siウエハを高品質に加工可能 |
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材質：シリコン(Si)ウエハ6インチ 加工：溝加工、穴加工など 6インチSiウエハ 溝幅0.3mm深さ0.15mmの溝加工やφ0.8mm貫通穴加工 Siウエハを高品質に加工可能 |
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材質：シリコンウエハ 0.65t 加工：φ0.3貫通穴加工 320穴 Φ0.5貫通穴加工 など |
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材質：シリコン (Si)ウエハ 0.775t 加工：ザグリ加工深さ0.3mm |
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材質：シリコン (Si)ウエハ 0.7t 加工：Φ1.0貫通穴加工1199穴、加工時間30秒/穴 超音波スピンドルを使用、欠け(チッピング)も少なく良好です。 |
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材質：シリコン (Si)ウエハ 12.5t 加工：Φ0.42 深さ12.5mm貫通穴加工 超音波スピンドルを使用しツール1本で232穴加工できました。 ダイヤモンド電着ツール＃400、15分40秒/穴 |
窒化アルミ加工
非常に脆く欠けやすく目詰まりしやすい素材ですが、石英ガラス加工と同様に穴・溝加工、ザグリ加工・形状加工が可能です。お気軽にお問合せください。
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材質：窒化アルミ(AIN) 加工：Φ0.6・Φ0.8貫通穴加工 幅０.６㎜×深さ1.0mm 溝加工 側面の溝間壁厚０.５mm |
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材質：窒化アルミ(AIN) 加工:φ1.0溝底の壁厚0.3mm 側面の溝間壁厚0.4mm M3ネジ |
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材質：窒化アルミ(AIN) 加工：Φ0.5×144 Φ1.5×48 各種穴加工 Φ2.5×48×0.5t ザグリ加工 形状加工 |
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材質：窒化アルミ(AIN) 加工：Φ0.7×16 Φ0.5×128 Φ2×8 Φ3 Φ5 各種穴加工 溝幅0.6mm深さ0.5mm |
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材質：窒化アルミ(AIN) 加工：形状加工 |
サファイア加工
硬度が非常に高く加工が難しいサファイアにも小径・深穴加工が可能です。高強度、耐摩耗性に優れていますので金属部品からの置き換え依頼が増えています。穴、溝、ザグリ加工もできますので是非ご相談ください。
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φ150 6インチ サファイア キャリアウエハ 使用用途：半導体工程のウェハ搬送時で使用されるキャリアウェハ 加工内容：4インチ対応 サファイアザグリ加工 文字はレーザー刻印ではなく、φ0.4ツールにて切削 |
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材質：サファイアガラス M3ネジ x 4 Φ1 斜め穴加工 x 4 Φ0.5 深さ1.5㎜穴加工 溝幅１㎜深さ0.7㎜ 溝加工 Φ3.6 ザグリ穴加工 |
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材質：サファイア □32mm×4.5t 加工：φ1深さ5mm穴加工 φ0.5深さ4mm穴加工 幅0.4mm深さ0.2mm溝加工 幅0.3mm深さ0.2mm溝加工 幅0.2mm深さ0.1mm溝加工 キラ・コーポレーション製GCV-30で加工しました。 |
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材質：サファイア 加工：幅0.2mm 深さ0.5mm貫通溝加工 |
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材質：サファイア 2.0t 加工：幅6mm、4mm溝加工 |
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材質：サファイア 1.2t 加工：Φ0.14貫通穴加工 Φ0.4貫通穴加工 Φ0.7貫通穴加工 各種溝加工 |
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材質：サファイア 加工：楕円形状穴加工 |
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材質：サファイア 加工：ザグリ加工 |
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材質：サファイア 加工：Φ0.5 深さ20mm止り穴加工 |
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材質：サファイア 加工：Φ0.5 深さ20mm止り穴加工 1ツールで11穴加工できました！ |
石英ガラス加工
石英ガラスは非常に硬い材料ですが衝撃に対して脆い性質があります（脆性材料）。 加工には通常、ダイヤモンド砥粒を用いた工具を使用しますが「欠け」「チッピング」「割れ」を起こしやすいため、加工に超音波スピンドルを使用する事で加工抵抗を激減させたダメージレス加工が可能になります。また、切り粉の排出性が良くなりますのでアスペクト比1：10以上の深穴加工もお任せください。
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材質：石英 5t 加工：12-長孔加工 6-長孔ザグリ |
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材質：石英ガラス 加工：幅0.8mm溝加工 深さ0.5mm |
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材質：テンパックス 1t 加工：φ0.8、φ2.0ザグリ加工 深さ0.5mm壁厚0.2mm |
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材質：白色ネクストリーマ 3t 加工：φ0.5穴加工、φ2.0ザグリ加工、壁厚0.1mm |
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材質：石英ガラスプリズム 加工：φ0.5深さ20mm貫通穴加工 |
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材質：石英ガラス 15t 加工：Φ0.3深さ3.5mm穴加工 Φ0.48深さ10.1mm穴加工 Φ0.6深さ5.6mm穴加工 など |
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材質：石英ガラス φ35×100mm 加工：φ2.0深さ100mm貫通穴加工 |
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材質：石英ガラス 加工：幅0.2mm溝加工 テーパー穴加工 90°V溝加工 Φ0.5深さ6mm貫通穴加工 など |
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材質：石英ガラス 加工：ネジ加工 |
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材質：石英ガラス 加工：形状加工 オス形状とメス形状を別々に加工し嵌め合わせています。スムーズに抜き差しできます。 |
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材質：石英ガラス 加工：M3メネジ加工深さ10mm Φ0.6深さ15mm穴加工 |
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材質：石英ガラス 加工：φ0.2深さ2mm 400穴 超音波スピンドルを使用しダイヤモンド電着ツール1本で加工できました。 |
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材質：石英ガラス 加工：φ0.1深さ1mm 200穴 超音波スピンドルを使用しダイヤモンド電着ツール1本で加工できました。 |
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材質：石英ガラス 加工：φ0.3深さ4mm 225穴 超音波スピンドルを使用しダイヤモンド電着ツール1本で加工できました。 |
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材質：石英ガラス 26t 加工：φ0.5深さ26mm貫通穴加工など |
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材質：石英ガラス 4t 加工：壁厚0.17mm |
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材質：石英ガラス 加工：Φ0.1深さ1mm Φ0.2深さ2mm Φ0.3深さ5mm |
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材質：石英ガラス 1.5t 加工：幅0.15mm貫通溝加工 |
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材質：石英ガラス 加工：Φ1.0深さ43mm止まり穴加工 Φ1.0深さ44mm貫通穴加工 |
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材質：石英ガラス(表面コーティング) 加工：幅0.1mm溝加工 |
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材質：石英ガラス 加工：オネジ、メネジ、テーパー穴加工など |
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材質：石英ガラス 加工：ザグリ加工、穴加工 超音波スピンドルを使用し欠け(チッピング)を最小限に抑えました。 |
ガラス加工
蒸着・コート品のガラスでも、石英ガラス加工と同様に穴・溝加工、ザグリ加工・形状加工が可能です。お気軽にお問合せください
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材質：ゼロ膨張ガラス 加工：□10×深さｔ2ザグリ加工 Φ5×１・Φ1.0×18貫通穴加工 |
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材質：クロムミラー青板ガラス □210 5t 加工：400-φ1.0 貫通 溝幅2.mm 深さ1.0mm |
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材質：クロムミラー青板ガラス 溝幅0.5mm 深さ0.1mmの溝加工 |
ガラス状カーボン
難削材のガラス状カーボンの加工も承ります。石英ガラス同様に各種加工をマシニングセンターで実施できます。加工勘としてはガラスに近いイメージです。チッピング(欠け)が発生しやすいですが最小限に抑えます。
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材質：ガラス状カーボン □25mm×3t 加工： (1)メネジ加工 3-M2 (2)ザグリ加工 3-φ2 深さ1.5mm (3)6-φ0.3 深さ3mm貫通穴加工 (4)4-φ0.5 深さ1.5mm止り穴加工 (5)段付き加工 |
セラミック加工
焼結後のセラミックに高精度、高品質の穴加工・深穴加工のご依頼を多くいただいています。 超音波スピンドルを使用し高アスペクト比の深穴加工に対応致します。 また、超音波スピンドルの加工抵抗低減効果で非常に脆い窒化アルミの薄壁加工も行います。 お気軽に加工のご相談ください。 喜んで対応致します。
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材質：SIC 厚み１mm 加工：穴加工 12―Φ4 12―Φ0.5 ：ザグリ加工 4―深さ0.3 ：貫通溝文字加工 文字幅１mm |
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材質 ：単結晶SiCウエハ ・パワー半導体用 SiCウエハ Φ150 加工：穴加工 18-φ3 18-φ1.0 18-φ0.5 |
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材質：SiC 加工：リング形状φ200×1t SiCサセプター、デポ除去も対応可能です！ |
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材質 ：単結晶SiCウエハ ・パワー半導体用 SiCウエハ 加工： 3インチから加工 φ35外径 φ3 12-φ1.0 12-φ0.5 |
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セラミックス加工 材質：黒ジルコニア 加工：Φ1.0深さ1mm・Φ1.5深さ2mm・Φ4深さ3mm穴加工 幅０.5mm×深さ0.5mm 溝加工 幅1.5mm×深さ0.5mm 溝加工 段付き加工 |
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材質：アルミナ 加工：Φ0.5 深さ10mm Φ1.0 深さ10mm 各種形状加工 |
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材質：アルミナ 加工： M8ボルトナット |
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材質：アルミナ 加工：Φ0.4 深さ2mm 400穴 |
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材質：アルミナ 加工：Φ0.6 深さ10mm 144穴 |
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材質：アルミナ 加工：形状加工 厚さ0.3mm |
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材質：アルミナ 加工：Φ2 120mm貫通穴 |
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材質：ジルコニア 加工：φ0.38 深さ1.5mm 100穴 |
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材質：ジルコニア 加工：M2メネジ 深さ5mm |
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材質：ジルコニア 加工：Φ0.6 深さ12.5mm 貫通穴 |
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材質：ジルコニア 加工：ザグリ加工、溝加工 |
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材質：ジルコニア 加工：各種穴加工 |
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材質：炭化ケイ素(SiC) 加工：形状加工 |
受託加工を依頼した お客様企業の声
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A社
セラミック・鉱物製品の超音波加工（ネジ加工、バルブ穴加工、Oリング溝加工等）をお願いしていますが、特殊なネジ穴にも対応いただき、希望どおりに加工していただき大変満足しております。確かな技術はもちろん、こちらの相談に応じてくださる、きめ細やかな対応は素晴らしいです。また、納品予定などについては適宜に連絡頂けること、迅速に納品いただける点にも助けられています。 
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B社
主に穴あけ及びテーパー加工、超音波長孔加工などを依頼することが多いです。完成した加工品の状態はもちろん良好であり、品質、納期、対応などすべてにおいて、とても満足しています。 -
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C社
穴あけ、溝、異形などの加工をお願いしています。毎回、しっかりと図面通り加工頂いており、問題ない仕上がりかと思います。こちらの依頼事項に対して、細かく回答頂けること、価格、納期についても相談に応じてくださるので、弊社の心強い味方だと思っています。
